興南儀真空儀表使用說明書

SQC310使用說明書

發布時間: 2019-09-19 16:42   723 次瀏覽

 

SQC300(含SQC310寬屏国民彩票app官网、SQC330窄屏)

膜厚測試儀使用手冊

  

美國Inficon公司授權銷售

 

 

1.0簡  介

SQC300是多通道石英晶體顯示儀,它集合準確性和強大功能為一體,價格非常便宜。標準配置可測量兩個1-6Mhz的晶體探頭,控制兩個蒸發源,它的8個程序控制繼電器和8個數字輸入經聯結可以很容易支持外部功能国民彩票app官网,如蒸發源坩鍋轉位。選用外部擴展卡可以使探頭国民彩票app官网、輸出、數字輸入輸出(I/O)數量擴大一倍。另外選用共沉積軟件還可以實現四種材料的共沉積功能。RS232USB接口是我們的標配,以太網接口備選。

SQC300有兩種外觀,分別為2USQC330窄屏)和3USQC310寬屏),除了顯示屏尺寸差異,設備配置完全相同。

 

這章將在初始裝配和系統操作方面給你幫助。請仔細閱讀本手冊以獲得所有操作国民彩票app官网,膜系設計和安全信息。

1. 1  面 板

 

                         Control Knob     Remote Jack

Softkeys

 

Softkeys本手冊稱軟鍵) 提供進入設備操作和設置菜單。軟鍵的功能根據操作菜單功能改變,顯示在屏幕的左邊国民彩票app官网。

Control Knob(本手冊稱旋轉按鈕)  用于調節數值,選擇菜單選項国民彩票app官网。按此鍵可儲存當前設置,然后移到下一個選項国民彩票app官网。

Remote Jack(本手冊稱遠程控制) 連接選配的手動遠程控制器。參見附D

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1. 2   背 板

 

sensor1&2  連接晶振探頭(見下一章)

output1&2  SQC300的輸出連接到蒸發源控制輸入(見下一章)

I/O(1-8) 連接8個繼電器和8個數字輸入到外部設備以便程序控制。參見附C以便連接。

RS-232、 USB或以太網  連接計算機以編程和數據接受国民彩票app官网。備選以太網可取代USB。

Sensor3&4 、Output 3&4、I/O 9-16 當選擇擴展卡時国民彩票app官网,可提高輸入国民彩票app官网、輸出、數字I/O的數量。

n     接地

power Input&Fuse      接主電源。100-120V / 200-240V,25W,50/60Hz自動可選。

警告:選擇適當類型和功率的保險絲以實現長期保護。

警告:選擇可移動電源線国民彩票app官网,功率和電流適合,要接地。

1.3 系統連接

   :    裝晶振片并測量蒸發速率和厚度,晶振片要時常更換,分90度和180度兩種

高溫電纜     聯結探頭和接口(標準是M/M

真空接口      將電線和冷缺水在真空室與外部之間分開。

BNC電纜:提供接口和振蕩器之間軟連接。盡可能短!

振蕩器        含有電子器件以控制晶振片国民彩票app官网国民彩票app官网,電纜到晶振片長度不超過40

10BNC電纜  連接振蕩器和SQC300国民彩票app官网。大于100“可以接受。

控制輸出電纜  連接SQC300和蒸發源控制系統。10“以內

地線          連接真空系統到SQC300的地線。減少噪音。

1.4  安 裝

警告:請仔細區分SQC-300電纜與其它含高電壓和產生噪音的電纜。

整體安裝   SQC-300安裝在電控柜上国民彩票app官网。

電源連接   SQC-300自動探測100-120V200-240V,50/60Hz電壓。

探頭連接   BNC電纜通過真空接口將振蕩器連接到需要的探頭。詳見上圖。

蒸發源輸出: BNC電纜從SQC-300輸入連接到電子槍控制輸入。若有問題,請咨詢電子槍廠家。

數字I/O輸入:參附C

計算機連接 如果用戶想用WINDOW收集數據或編程,可以使用RS232電纜將膜厚儀和電腦連接,也可通過USB接口連接。如果您指定USB接口,則廠商提供RJ-45以太網聯接器。請注意隨機光盤中附帶通訊軟件(comm..exe)

1.5  菜 單

啟動設備后,SQC-300很快顯示初始信息和版本国民彩票app官网,然后進入主菜單。

注意:如果你需要密碼国民彩票app官网,使用屏幕左邊的功能鍵,從上到下分別為16。設立密碼參考系統章節。

 

菜單******行顯示膜系的名稱(Process 1),后面是按“Start鍵開始要運行的層數和膜系總層數(Layer 1 of 1)。再右邊是此膜系已運行的時間(Run#:0)

菜單的第二行是狀態行。顯示膜系循環的狀態国民彩票app官网、其它狀態或錯誤信息(Stop)国民彩票app官网。當膜系開始后,右邊顯示膜系持續的工作時間。

三個曲線可顯示:速率、速率偏差、輸出功率国民彩票app官网。曲線是二維的。

曲線下面是兩行鍍膜數據(如果加選選配卡国民彩票app官网,則有四行)国民彩票app官网,包括工作速率、速率偏差、厚度和輸出功率。另外,它可顯示測試的速率和厚度與設置值的比較。

隨著鍍膜狀態国民彩票app官网,菜單的變化,六個軟鍵的作用也會改變。按Next Menu可顯示選擇的下一個菜單。

 

 

因為菜單3(Mail Menu 3)功能可完全重新定義一個膜系,所以只能在膜系非工作狀態時使用。

花些時間在這三個菜單之間移動。特別是菜單3Main Menu 3),我們在設立一個膜料選擇時將覆蓋菜單3的設值參數。

1.6 膜層沉積介紹

SQC-300可存儲收到的反饋,提供控制膜系的操作功能国民彩票app官网。一個典型的鍍膜程序如下:

分成三部分                                                                                                  

 

Ramp:預熔升溫   Soak:保持   Deposit:鍍膜

在預熔的過程中,功率慢慢增加国民彩票app官网。當材料到達沉積速率時,鍍膜開始。

鍍膜過程中国民彩票app官网,PID調節電子槍功率,維持需要的蒸發速率国民彩票app官网。共沉積時,幾種膜料可同時進行蒸鍍。

當需要的厚度達到時,蒸發源功率輸出為0,此時這層鍍膜停止或下一層鍍膜開始国民彩票app官网。

1.7 建立一個膜系

這部分簡單指導如何建立和運行一個一層簡易膜系国民彩票app官网。第2章有詳細說明。

建立膜料:膜料是指要蒸發的材料和設置必要的蒸發參數,開始時膜料序列可能是空白的。

Next menu直到Film菜單顯示国民彩票app官网。按FILM菜單查看已有的膜料,將設置鍵轉到空白(EMPTY)處。

CREAT鍵在此位置建一個膜料。記住你建立膜料的序號,從現在起它開始接受蒸發參數。

RETURN鍵返回主屏幕。

                                                                                                                                               

現在我們可以確定至少有一個膜料存在。我們要用這個膜料建立一個單層膜系。

選擇膜系:按住Process菜單顯示各種膜系。把設置鍵轉到空白處国民彩票app官网。按住CREAT鍵創建一個膜系?;虬?/span>SELECT鍵選擇存在的膜系。

編輯膜系:按EDIT鍵查看一系列層數(在選定的膜系中)。沒有設置的膜厚儀列出的層數應是空白。

插入膜層:按INSERT LAYER,然后選擇你創建的膜料,按INSERT NORMAL插入選定的膜料作為1層,顯示返回到膜層選擇菜單。

 

一個膜系包括一層或多層。每層有一種膜材料或多種膜料(共沉積時)国民彩票app官网。這個例子中,膜系只有一層。

編輯膜層  當一層被選中。按EDIT顯示編輯菜單国民彩票app官网国民彩票app官网。

 

編輯菜單操作:在一個菜單中編輯一個設置,轉動控制按鈕轉到需要的設置,按住EDIT

NEXT存儲數據,移到另一個編輯。

CANCEL停止編輯国民彩票app官网,返回到以前設定的值

ENTER停止編輯国民彩票app官网,保存選定的值。

編輯狀態下,轉動控制鈕,設定所需要的數據。

編輯層數1花些時間瀏覽1層的參數和編輯的值国民彩票app官网。當你感覺好的時候,確定1層的值與上述相匹配。

MAIL MENU返回主菜單。

1. 8 沉積一種膜材料

注意你可以模擬下列過程,無需真正操作国民彩票app官网。在系統菜單(System Menu),選擇SIMULATE模式為ON。

模擬狀態在實際給蒸發源通電前測試膜系非常有用。3.6節參考詳細信息。

確定探頭操作:按NEXT MENU直到探頭信息(Sensor Info)菜單顯示。

按住SENSOR Info顯示晶振片讀數国民彩票app官网。探頭1應是ON,顯示的%值超過50%。如果不是,仔細檢查探頭聯接(1.3節)。參考***小/******頻率(3.6)

EXIT返回主菜單

顯示功率曲線  NEXT GRAPH直到顯示功率/時間曲線

確認輸出操作  NEXT MENU直到自動/手動(Manual/Auto)鍵顯示。按START開始手動模式。

慢慢轉動控制按鈕提高蒸發源的電壓。輸出1的蒸發功率(%)讀數(右下,曲線下面)與實際蒸發源輸出相近。如果不是,檢查你的HOOKUP1.3),參考顯示電壓(Scale 1)3.6節)。

警告如果輸出電壓與蒸發源實際電壓不同,則按STOP鍵停止国民彩票app官网。

進入自動模式:按NEXT MENU直到MANUAL/AUTO出現,再按一下就變為AUTO/MANUAL后,輸出就處在PID控制下。

任何時候按STOP可停止,將輸出電壓變為零。

2.0 介 紹

這章關于操作SQC-300的任務。前提是你必須明白基本操作和數據設定。詳細的數據設定在第三章有介紹。

2.1 定 義

下面幾個概念要經常使用国民彩票app官网。你必須要明白其意義:

材料(Material:沉積的物理材料国民彩票app官网。約100種材料數據儲存在SQC-300。其它可以用設置軟件裝入。三個數據可以完全定義一個材料:名稱、密度和Z值。常用的材料名稱、密度和Z值表列在附A。

膜料(Film):一個材料如何被沉積的。它包括材料定義和預熔、沉積国民彩票app官网、沉積之后。因為膜料定義不包括速率,厚度国民彩票app官网。一個膜可以被不同的層數和膜系調用。SQC-300能存儲25種膜料国民彩票app官网。

層數(Layer):層數是膜系的基本組成。一層包括一種膜料国民彩票app官网、厚度和蒸發速率国民彩票app官网。層數也定義哪個輸出口,探頭在被使用。

膜系(Process):一個膜系就是一系列層數的組合国民彩票app官网。SQC-300可以存儲25個膜系,包含400層。

過程(Phase:沉積循環中的一步。預熔包括升溫1Ramp)国民彩票app官网、保持1(Soak),升溫2(Ramp)、保持2(Soak)。沉積過程包坩鍋轉位、擋板遲滯国民彩票app官网、蒸發国民彩票app官网、增加蒸發功率。包括蒸發后過程。

 

2.2  定義一個膜料

膜料就是被蒸發一種材料国民彩票app官网,包括相關設置數據国民彩票app官网。要記住一種膜料可以在多層中使用,甚至可以在多種膜系中使用。編輯一個膜料將導致引用此材料的每一處都會改變国民彩票app官网。

NEXT MENU,直到FILM菜單顯示(主菜單第三層);按FILM菜單,25個膜料(或空)將被顯示。要定義一個新膜料,移到空白處<EMPTY>,然后按CREAT鍵国民彩票app官网,一個新的膜料被加入存在的膜料系列中(你可以用SQC-300設置軟件分配敘述性膜材料名稱,如分子式,但不能支持中文)。按EDIT顯示膜材料的設置數據。

 

P就是輸入功率的%比與膜系蒸發速率的%比。I值(整體)是速率偏差/時間的總計国民彩票app官网,以便得到更好的速率設立點。D值是對速率突然改變的反應速度国民彩票app官网。大量的因素決定了合適的PID設置。這章后面Loop Tuning章節詳細說明如何設置PID。開始時,可以設定如下PID值:P=15,I=5国民彩票app官网国民彩票app官网,D=0。

Film Tooling(工具因子)就是調節實際厚度與測試厚度的差異。這個值很少被用,但可以在一個膜料特別分散的情況下使用。參考系統菜單(System)Xtal Tooling。

Pocket指選擇裝膜料的坩鍋。這個值要求系統設置中為I/O設置適當的坩堝繼電器(Pocket Relay)。

下一章內容包含晶振片質量、穩定性和失敗模式国民彩票app官网。才開始操作時,將質量、穩定性設置為不工作(disabled,失敗模式設為停止(Halt)。

選中了一種材料,按編輯(Edit)在材料列表中移動国民彩票app官网。選擇需要的材料,按進入(Enter).你也可以改變密度和Z值,但是這些值不應該會錯。如果要增加一個材料或編輯一種存在的材料国民彩票app官网,你必須使用SQC-300的設置軟件(光盤隨附)国民彩票app官网。

預熔條件調節輸出功率以在鍍膜前 / 后取得材料的目標形態。按預熔條件(Film Conds)菜單進入国民彩票app官网。

 

Ramp10%功率開始,在Ramp1時間內使功率增加到Ramp1水平。設置Ramp1的功率和時間,使之接近熔點狀態。設置SOAK1時間均勻熔解。設置Ramp2功率慢慢接近蒸發功率。SOAK2將材料保持在此狀態直到蒸發開始。

如果在蒸發后自動填料国民彩票app官网,設置加料功率和時間。Idle就是將功率漸變為0国民彩票app官网。

按前一個(Prev Menu)菜單返回主菜單。

現在按蒸發控制(Deposit Controls)国民彩票app官网,此包括改變蒸發過程中數據。

 

檔板遲滯(Shutter Delay)使檔板延遲打開直到蒸發速率穩定下來国民彩票app官网。Capture是打開擋板到蒸發狀態所必需的速率偏差%。Shutter Delay是取得Capture的***長等待時間。將Shutter DelayCapture設置為“不工作(Disabled)”国民彩票app官网。

在共蒸發時,SQC-300(如果選配了共蒸發軟件)將在蒸發前等待所有材料到達Capture的狀態。如果有一個材料在檔板遲滯時間內未能取得速率Capture,將會有錯誤顯示。

如果SQC300不能保持需要的蒸發速率(比如,沒有膜料或探頭出錯)国民彩票app官网,可以選擇下列三個動作:繼續償試(Ignore),或將功率輸出為0以便停止鍍膜(Halt)或保持連續的功率(Hold),用以前好的速率繼續鍍膜達到需要厚度,直到你的膜料是被知的和穩定的。******為設置Ignore(忽視)。

        Rate Sampling(速率取樣)可以在高速率膜厚系中延展晶振片的壽命。選擇 Cont(連續)以便終止這項功能。 如果選擇時間(Time)国民彩票app官网,探頭檔板會在設定的時間內關閉,在設定的時間再打開,取樣速率。Acc Based(基于準確性),就是關閉檔板一定的時間国民彩票app官网,然后再打開檔板直到取得需要的速率。速率取樣的功能僅適用于鍍膜速率特別穩定情況国民彩票app官网。

2.3  定義一個膜系

按下一個菜單鍵(Next Menu)直到顯示Process Menu国民彩票app官网国民彩票app官网,按住Press Menu,共顯示25個膜系(或空白)。轉到<Empty>(空白處),按創立鍵(Creat),一個新膜系將創立。(用SQC-300設置軟件設立敘述性說明)。

按選擇鍵(Select),然后按編輯(Edit)国民彩票app官网,顯示此膜系包括的所有層數和材料。

如果在膜系中增加一層国民彩票app官网,移動到要加入層數的地方,按插入一層(Insert Layer),從材料列表中選擇需要的膜料,按Insert Normal插入新的膜層。新膜層總是插在選擇的膜層前面国民彩票app官网,選擇的膜層和后面的膜層會自動向后移国民彩票app官网国民彩票app官网。

提示: 當設立膜系的時候,***方便的是在***后一層加入一個虛擬層,總是在這層前插入国民彩票app官网。當一個膜系設立結束時,刪除這個虛擬層国民彩票app官网。

在一個膜層中加入另外一種材料国民彩票app官网,將會實現共蒸發国民彩票app官网。在需要共蒸發的膜層后選擇膜層,按Insert Layer選擇需要的材料,按Insert CoDep. 共蒸發的材料將會插入選擇的膜層之前,并會顯示這個共蒸發膜国民彩票app官网。

下列表顯示2個材料與材料1共蒸發国民彩票app官网,然后第四個材料被蒸發作為另外一層国民彩票app官网。

 

刪除一層国民彩票app官网,先選擇要刪除的層數,然后按剪切/粘貼(Cut/Paste)鍵。

Cut/Paste菜單,按Cut移走這層膜層,然后按Prev Menu返回膜層選擇菜單。

選擇一層膜層,按Cut/Paste,剪切或復制一層膜層国民彩票app官网。按Cut移走這層膜。 這層膜的信息自動保存在Copy/Paste記憶中。按Copy保存膜層信息国民彩票app官网,不會移動這層膜。不用離開Cut/Paste菜單,選擇要加在其前面的膜層,選擇正常粘貼(Paste Normal)或共蒸發粘貼(Paste CoDep).(如果選擇了共沉積的功能)

Cut/Paste操作可重復多次。每次Cut操作就重寫Cut/Paste記憶。 按住Prev Menu返回膜層選擇菜單国民彩票app官网。Cut/Paste記憶將丟失!! CUT/PASTE的功能與電腦的剪切/貼貼功能一樣)

注意:一旦一個膜料被安排在一個膜系的一層,你不能改變這個材料。而應是刪除這層国民彩票app官网,插入新膜層,然后選擇需要的材料国民彩票app官网。

2.4  定義膜層  

Process Menu.選擇需要的膜系,按EDIT鍵,再選擇需要的層數国民彩票app官网,按EDIT国民彩票app官网。

 

初始速率(Initial Rate)和***后厚度(Final Thickness)是材料在這個膜層的主要設立值。 時間和厚度設定點是這二個值達到時將會激活一個輸出国民彩票app官网。

開始模式(Start Mode)在多層鍍膜中使用。自動狀態下(Auto),在前一層膜鍍完后国民彩票app官网,后一層自動開始国民彩票app官网。手動狀態下(Manual),需要人工按Start開始下一層鍍膜。不要把手動開始與手動加功率功能混淆。

輸出(Output)將膜層/材料的數據分配到SQC-300后面板的輸出端口。膜層/材料的功率、預熔国民彩票app官网、PID設置將應用于選定的輸出端口国民彩票app官网。給你的膜料和電源設置恰當的******功率(Max Power)和速率偏差(Slew Rate)值。 現在開始,兩個值均設為100%,但如果你發現很小的功率改變會產生很大的蒸發速率的改變,則應兩個值設置降低国民彩票app官网国民彩票app官网。

SQC-300可以使用多探頭測試鍍膜的速率和厚度。當多探頭被選用,探頭將被均勻使用国民彩票app官网。將要被使用的探頭設置為ON。

速率曲線(Rate Ramp)允許PID控制的蒸發速率在PID控制下隨著時間變化。每個速率曲線有一個開始厚度,到新速率曲線時間后將有一個新的速率設置值。每個膜層可以有兩個速率曲線。

2.5 探頭安裝

探頭安裝涉及探頭的選擇、設定******/***小頻率和調整Tooling值。

System Prams菜單中,******頻率是新晶振片的初始頻率,典型值是6.oe+0.6Hz(6Mhz)。由于晶振片生產廠的誤差不一樣,有些晶振片初始振蕩頻率大于6Mhz,可能檢測為晶振片失效。要將******頻率調整適當大于6MHZ,比如6.1Mhz.

***小頻率是當晶振片失效時SQC-300提示的頻率。對于6Mhz晶振片而言,******頻率為5Mhz。晶振片的壽命可以被提前探測到,比如頻率突然大副度變動或停止振蕩国民彩票app官网。一些材料會使晶振片在大于5MHZ時就失效。實踐中設置***小頻率的值可以在晶振片真正失效前就提示我們国民彩票app官网。

為了盡早知道晶振片就快失效,Crystal Quality and Stability值在材料參數中也有設置。參考第三章詳細信息国民彩票app官网。

Sensor Tooling and System Tooling(System Params菜單)調節測試的蒸發速率與基片實際速率的誤差。

 

左邊的情況下測試的值小于實際的值。右邊的圖例中国民彩票app官网,值要高。Tooling是實際值/測定值的比。

比如,測試值是1.000kA,實際值是1.100kA(可以用其它設備測試,如Stylus Profilometer)国民彩票app官网国民彩票app官网。

Tooling值是(1.100/1.000)x100=110。

一個簡單的原則就是:如果速率/厚度值低国民彩票app官网,則提高Tooling值。反之,則降低Tooling值。

Xtal Tool 12調節相關的探頭的Tooling值。在多探頭的情況下這個值非常重要。System Tooling適用于所有探頭,用于調整系統的差別而導致的實際與測試的區別国民彩票app官网。             

總而言之,晶振片的Tooling值應正確使用(xtal12)。

Multi Xtal Count是多探頭中晶振片的數字值国民彩票app官网。 對于標準單探頭和雙探頭,值應為0。

任何聯接的探頭(不管設置是OnOff)應顯示頻率和余下的%值(根據設置的*********小值)。對于一個新的探頭国民彩票app官网,這個值應接近100%。如果值為0%或跳動国民彩票app官网,仔細檢查電纜和晶振片在探頭內的安裝国民彩票app官网。

Sigma提供一個小的5.5Mhz測試晶振片国民彩票app官网,如果%值不正確国民彩票app官网,斷開6BNC電纜與振蕩器的聯接。對于典型的6Mhz5Mhz設置,%壽命應為50%。

探頭被分配到每一層,如第三章,分配到編輯膜層。

更多的探頭系統信息在這章之后的解決問題中有說明。

2.6  蒸發源安裝

SQC-300是通過蒸發源電源來控制蒸發速率。

SQC-300輸出電壓范圍在System Params中設置。對于相應的每個輸出,設置控制電壓顯示與電源提供商輸出100%匹配。SQC-3000v作為0%輸出国民彩票app官网,設置值為100%。顯示值-10V+10V之間是可能的。

2.7運行一個膜系

當一個膜系定義了適當的層數,探頭和蒸發源控制系統也已正確聯接,我們就可以試運行膜系。這節介紹如何選擇、開始和終止膜系国民彩票app官网。

當膜系不運行時,有三個主菜單(運行時有兩個)国民彩票app官网。按Next Menu察看這三個鍵。Next Menu是三個鍵中******個。Start/Stop是每個菜單***后一個軟鍵。主菜單1顯示的軟鍵用來控制鍍膜。

 

快速編輯(Quick Edit)是正在鍍膜時提供迅速到達***常用的膜系參數的鍵。

 

按快速編輯上的下一層(Next Layer)和上一層(Prev Layer)查看膜層国民彩票app官网。按To Main返回主菜單屏幕。

 

自動/手動(Auto/Manual)鍵的功能是在自動(PID)控制和手工(人工)控制之間轉換。在手工模式下,SQC-300立刻開始膜層的蒸發過程国民彩票app官网,不管膜系是停止或運行的,PID循環將停止,用前面板的旋轉按鈕來控制輸出功率。

在人工模式下,將經常顯示速率曲線,手工調節輸出功率以得到需要的蒸發速率。人工模式下,很容易超過膜層的***終厚度,所以要小心閱讀厚度數據。人工模式在決定預熔功率和自動循環方面是非常有用的。

從人工模式轉到自動模式国民彩票app官网,SQC-300將在PID控制下運行,PID控制鍍膜循環以得到蒸發速率設置值,這可能會導致輸出功率的迅速改變。

注意:不要將Manul/Auto功能鍵和自動/手動開始模式搞混。 Manual/Auto Start鍵是告訴SQC-300在開始鍍一新膜層時国民彩票app官网,需要人工介入。

復零(Zero軟鍵可以在任何時候用來將厚度復零国民彩票app官网。這個通常不需要国民彩票app官网国民彩票app官网,因為SQC-300要在開始每膜層時自動將厚度復零。然而,在人工模式和模擬狀態時非常有用。

Next Layer移動到下一層,以便Start軟鍵開始鍍下一層国民彩票app官网,在程序結束后回到******層。

***后一個軟鍵用于開始和停止蒸發過程。開始鍵用于在預熔狀態下開始******行顯示的膜層。

Stop鍵停止現在膜層。按START鍵可重新開始現在的膜層国民彩票app官网。按Next Layer,再按Start,可開始鍍任何膜層。

注意:當一個膜系******次運行時,******(***安全)是讓SQC-300在模擬模式下運行。如果***底下的軟鍵沒有顯示模擬開始模式,按System Params,然后設置Simulate模式為On.

已經作了充分準備国民彩票app官网,我們可以開始鍍膜!

按開始(Start)鍵開始鍍膜国民彩票app官网。如果******層開始模式設為人工狀態,你需按Start Layer軟鍵開始鍍膜国民彩票app官网。

鍍膜從******層膜的預熔開始,當預熔結束,開始蒸發。當膜層達到設定的***后厚度,自動喂料和結束開始(如果設制)。

 

如果第二層是自動開始,當******層結束時第二層立刻自動開始。如果第二層是手動開始或是***后一層,膜層就會停止等待操作人員的指令。

在鍍膜過程中,Stop鍵將被顯示。按Stop鍵可暫時停止現在的膜層。

 

Start鍵重復停止的膜層国民彩票app官网,從預熔開始,Next Layer會允許你從另一層開始。(新版的SQC300可以在已度的厚度上繼續開始,但舊版的只能從0厚度開始)

注意:按主菜單2Abort軟鍵徹底終止任何鍍膜過程。

在模擬狀態下多花些時間驗證每層膜每個階段膜系的順序是否如設立的一樣。如果不是,用快速編輯鍵進行更正国民彩票app官网。

因為鍍膜過程是模擬的,有一些參數在PID狀態下可能是不正確的国民彩票app官网。但在模擬狀態下你可以掌握每個參數的作用。在Auto/Manual模式下,用Next Menu來選擇。

如果你在模擬狀態下驗證了這個膜系。你可以將Simulate設為Off開始實際鍍膜国民彩票app官网。在下一節將完成***后PID的回路設置。

 

2.8  回路調諧

這一節將幫助你調節PID值以得到平穩的鍍膜過程。記住沒有“******”的方法去決定PID參數国民彩票app官网,也沒有一個******的設置來設定。

設定系統參數(Set System Parameters):確保輸出電壓和晶振片******/***小頻率和系統配比是準確的国民彩票app官网。所有工具參數******設立為100%。0.25秒過程可作為開始點,模擬狀態應設為關閉国民彩票app官网。

創制一層膜層測試:創立一個膜料国民彩票app官网,所有參數設為默認值,創建含有這個膜料的一層的新膜系国民彩票app官网国民彩票app官网。并選擇其作為要運行的膜系国民彩票app官网。在快速編輯狀態下設初始蒸發速率和***終厚度為很大的值,比如10倍于需要的。選擇相關的探頭国民彩票app官网、輸出端和材料。設******功率為100%,Slew Rate100%。

測試設置:按自動/手動模式,設膜層開始為手動模式。慢慢旋轉控制鈕使功率到10%,驗證你的實際功率輸出是否約為10%。繼續旋轉控制按鈕直到速率顯示為零。再一次驗證電源輸出與SQC-300的功率%是否相符合。如果讀數不符合,檢查你的連線和膜系設置。特別是驗證系統輸出與電源輸入是否相符国民彩票app官网。

決定外回路增益:慢慢調節控制鈕使蒸發速率讀數與你需要的速率大約匹配(快速編輯中的開始速率)。記錄想達到的速率功率%PWRDR,慢慢降低功率直到蒸發速率為0。記錄0速率功率為PWR0R。

決定外回路反應時間:計算你所需要速率的1/32/3。慢慢增加功率直到速率達到1/3RATE。記錄回路到輸入改變的反應時間国民彩票app官网,迅速調節功率到PWRDR,測試速率到2/3RATE的時間国民彩票app官网。你可以重復多次,以計算平均值国民彩票app官网。顯示速率曲線也會有幫助。測試時間的2倍就是反應時間TIMESR, TIMESR在電子槍蒸發時典型值是0.7-1.5秒,阻蒸時是5-20秒。

當輸出功率返回0%時国民彩票app官网,將手動/自動返回自動模式。 建立PID值:

設立PID在快速編輯菜單下設立P=25,I=TIMEESR,D=0.離開菜單按開始鍵觀察功率曲線国民彩票app官网。功率應從0%升起,在接近PWRDR時穩定下來。如果有10%的超出国民彩票app官网,則降低P值。如果到達PWRDR時間非常慢,提高P值国民彩票app官网。低一點的I值可以提高反應時間, 稍長一點的時間可以消除設置偏差。 這種情況下不需要任何D值国民彩票app官网。

持續開始鍍膜国民彩票app官网,調節PID值直到蒸發穩定国民彩票app官网,反應時間合理。如果狀態反應是平穩的,你不需要完全消除警報聲,預熔會把每段變化降低到***小。

設置預熔條件:你記錄的PWR0R是你鍍膜開始的功率。在Film Conds中是RAMP1適合的值。PWRDR或稍小一點的国民彩票app官网,則是RAMP2的功率。這會消除蒸發過程中每段的變化。

一旦一個材料的PID值設立,它們與其它材料非常接近。僅P值和預熔功率水平需要調節。

2.9  問題解決

絕大多數SQC-300問題是由于晶振片失效或膜料設置不當,尤其是PID設置不正確国民彩票app官网。根據下列方法解決問題。

2.9.1沒有讀數,錯誤讀數

斷開與電源的聯接,這將消除噪音或不適當的循環調諧值而導致的不穩定PID控制。

確認探頭,振蕩器国民彩票app官网,電纜如1.5章節中正確聯接。確保SQC-300底盤已成功接地。

換新晶振片。晶振片有時在完全失效前突然失靈或顯示錯誤信息国民彩票app官网。如果你發現晶振片總是提前失效,你可以將系統設置中******頻率略提高一些大于5Mhz.

在系統設置中,確定模擬模式是OFF, ******/***小頻率正確設置(典型***小是5Mhz,******是6Mhz)。一些廠家的新晶振片頻率大于6Mhz,可以將******頻率設為6.1Mhz,

按膜料菜單,編輯鍵,確保相關的探頭設置為Enabled。按Exit返回到主菜單,按下一個菜單直到探頭信息鍵顯示。顯示探頭頻率和余下壽命国民彩票app官网。

在不鍍膜時,觀察每個工作探頭的%壽命。這個值應是穩定的,在20%-100%之間。

如果%壽命是0或不穩定:確保探頭正確接線,膜厚儀已接地。再查晶振片是否正確安裝国民彩票app官网国民彩票app官网。

當探頭轉到其它輸入端口,如果膜厚儀顯示0值或不穩定值,應該是連線或探頭有問題。

如果%壽命小于50%,換晶振片国民彩票app官网,確保%壽命近100%,非常穩定国民彩票app官网。如果%壽命不接近100%,檢查******/***小頻率設置。(任何晶振片初始壽命>98%都是正常的)

如果問題還沒有解決,參考1.5節,斷開6BNC電纜與振蕩器的連接。每個振蕩器都附有5.5Mhz晶振片和BNC適配器,連接適配器国民彩票app官网,晶振片應顯示5.5Mhz而且非常穩定,如果不是,聯系廠家技術支持。

如果讀數穩定,再連接電源。在手動模式下開始從0%功率蒸發。%壽命讀數應很穩定国民彩票app官网。

慢慢升0%功率直到曲線顯示速率讀數。當膜料鍍在晶振片上,%壽命讀數應很穩定国民彩票app官网,或者慢慢穩定的下降国民彩票app官网。如果不是国民彩票app官网,檢查電源。而且確保探頭不要太接近蒸發源(特別在濺射中)国民彩票app官网。

2.9.2不正確的速率和厚度測試

完成2.9.1,保證探頭操作正確。

正確設置第三章系統設置中Xtal Tooling值。不正確的Xtal Tooling值使每種材料都產生忽高忽低的厚度/速率值。

通常將Xtal Tooling值設為100%,除非你確認可以設置一個其它的值。

確認Z值和密度與附表A相符。如果材料沒有列,請查其它手冊国民彩票app官网。密度對膜層厚度有非常大的影響。

Z值用于糾正鍍膜晶振片的應力。如果讀數初始是準確的,但當晶振片壽命在60-70%時開始惡化,你需要調節Z值或更換晶振片。

2.9.3速率不穩定

確保2.9.1手動模式下讀數穩定。如果手工模式下讀數穩定,按2.8節進行回路調諧。

3.0介紹

SQC-300有三層菜單。每層菜單的軟鍵可以到子菜單。這章說明每個菜單每個設置的作用国民彩票app官网。功能由三個主菜單和主要子菜單組成。

SQC-300啟動時的菜單如下:

 

屏幕的***上方你可以發現現在的膜系、層數和運行狀態。其下方是蒸發狀態或錯誤條件。中間顯示速率国民彩票app官网、速率偏差或輸出功率曲線。如果多種材料被使用,每種材料顯示不同的顏色。

曲線下面是蒸發源国民彩票app官网、蒸發速率和厚度,余下的列也可設置顯示功率和偏差信息国民彩票app官网。標準SQC-300有兩行,相對于兩個輸出端口。如果安擴展卡,將有4行国民彩票app官网。

屏幕菜單軟鍵的功能隨菜單和鍍膜狀態而改變国民彩票app官网,通過Next Menu軟鍵可到子菜單国民彩票app官网。

3.1  主菜單(菜單1

下面敘述主菜單1軟鍵的功能:

Next Menu 下一菜單  

        Quick Edit  快速顯示膜系經常要改變的值。如果沒有国民彩票app官网,說明膜系還設設層數国民彩票app官网。

Auto/Manual 手動或自動控制變換。當Auto/Manual被顯示,SQC-300可以自動加功率以取得設定的速率。當Manual/Auto顯示時,通過控制按鈕調節功率。

Zero 將厚度讀數變為0。在重新設置和增加鍍膜層數時有用。

Next Layer 到膜系的下一膜層。用這個鍵可以開始或重新開始膜系中的任何一層。僅膜系停止時可看見国民彩票app官网。

Start Layer 膜系的每一層可設為手動或自動。在自動狀態下,一層鍍完后国民彩票app官网,開始自動鍍下一層。如果設為手動国民彩票app官网,則需要操作人員手工介入国民彩票app官网。只有在開始一層手動設置的膜層時才能看見。

Start/Stop 開始或停止現在的鍍膜。使所有輸出為0。

3.2 主菜單2

主菜單2軟鍵的功能:

Next Menu  下一菜單

Next Graph 主菜單顯示下一個曲線。在速率、速率偏差、功率曲線間選擇。 在系統設置菜單下可以設置Y軸速率偏差的福度(Scale)国民彩票app官网。 第四個“曲線”將速率国民彩票app官网、厚度、功率用文字顯示以方便讀數。

Next Displays在主菜單下顯示數據的變換。******顯示速率,速率偏差,厚度和功率值。第二顯示測試的速率(******列),速率設定值第二列,測試的厚度在第三列,設置厚度在第四列。

Sensor Info 用探頭的屏幕替代主菜單

 

Next Layer 在同一膜系各層中瀏覽,可以開始或重新開始膜系中的任何一層。

Start Layer 任何一層膜的起始方式都可設定為自動或手動,如果是自動,則上一層結束時自動開始此膜層。但如果設定為手工,則需要操作人員按此鍵以開始當前這一層。只有需要手工操作時此鍵才為可見。

Start/Stop 開始或停止當前的膜系国民彩票app官网,將輸出變為0国民彩票app官网。

3.3主菜單3

菜單3只有在鍍膜停止時可用国民彩票app官网。這個菜單直接關系到膜系、膜料、系統參數,它們在鍍膜時不可變動国民彩票app官网。

鍍膜時可改變如下參數:停止鍍膜,修改參數,在需要的層數上重新開始鍍膜。

下面是軟鍵的作用:

Next Menu 在各層主菜單中溜覽国民彩票app官网。

Process Menu 一個膜系是數層要鍍的材料国民彩票app官网。這個鍵允許你建立、編輯膜系的膜層。

Film Menu 膜料是一種材料加設置信息国民彩票app官网,設置信息包括預熔/蒸發后條件,蒸發控制,材料物理參數設置。

System Menu 系統參數控制整個SQC-300的操作。包括工具因子(tooling), 晶片*********小頻率,操作模式国民彩票app官网国民彩票app官网。

3.4快速設置菜單

 

To Main 返回主菜單1

Edit 對選定的參數進行編輯。

    Next  儲存此參數,到達下一個要編輯的參數。

    Cancel  停止編輯并放棄已做的改變

        Enter 停止編輯,保存已選擇的參數。

Control Knob旋轉以調整值。按住則保存值国民彩票app官网,然后自動移到下一個參數。

Prev Layer  顯示膜系上一膜層的參數。

Next Layer  顯示膜系下一膜層的參數

快速編輯參數如下:

Initial Rate(開始速率):蒸鍍時開始的速率国民彩票app官网。

Final Thickness(***終厚度):膜層需要的***終厚度。當其厚度達到這個厚度時,鍍膜停止。

P term:設定控制循環的增益。高的增益可能得到更多反饋(但可能不穩定)循環。開始時試用50值国民彩票app官网,然后增大/減小以取得合適的值。

I term內部值控制循環反饋時間常數,一個小的值国民彩票app官网,如:0.51秒使多數循環反饋平穩。

D term不同的值使循環對改變作出快速反應。用0或很小的值可避免振動国民彩票app官网。

Max Power選擇輸出允許的******功率,控制這個膜層能使用的******功率。

Slew Power每秒內,一個輸出允許的******功率變化国民彩票app官网。如果功率或速率變化超過這個值,錯誤發生。

Material膜料

Density密度,材料的密度對計算的厚度有很大影響。

Z-FactorZ值,就是材料的性質對頻率變化影響,也就是鍍膜材料與基體的聲祖抗的比值,如果你知道膜料的聲阻抗,除以8.83(SiO2的聲阻抗),就是需要的Z值。

Ramp1:在鍍膜過程中国民彩票app官网,有時需要改變蒸發速率国民彩票app官网,比如国民彩票app官网,你希望開始鍍膜時速率很小,達到一定厚度后提高蒸發速率。 Ramp1設為Enables, 就可以實現上述功能,同時也許下設置下列參數,

     Start thickness(開始厚度)就是到達多少厚度時提高蒸發速率。

     Ramp Time(提升時間):就時從舊速率到新速率需要的時間

     New Rate(新速率):就是提升時間到達時的速率

Ramp2:每層有兩個速率提升功能,第二次的起始厚度要大第每一次的厚度。

3.5膜系菜單

膜系菜單有好幾層国民彩票app官网,******菜單(如下)選擇現在膜系,指正準備運行的或準備編輯的膜系。

 

說明:

Main

返回上級国民彩票app官网,指主菜單3

Prev Menu

上一個菜單

Select/Edit

選擇準備運行的膜系或編輯

Delete

選擇選定的膜系和它所有層數

選擇膜系菜單的編輯鍵,顯示所選膜系要鍍的膜層。

 

說明:

Main Screen

主要菜單,返回菜單3

Prev Menu

返回上一級菜單

Edit

顯示對所選膜系編輯菜單,見下一節

Cut/Paste

用于對一個膜系的層數進行安排。按此鍵可顯示一個子菜單。所選膜層可被剪切或備份国民彩票app官网国民彩票app官网。

Insert Layer

顯示25個膜料列表,在選擇的膜料之前插入一個膜料作為新的一層

3.6 層數編輯菜單

每一層含一種膜料,另外還有這層所需的沉淀速率和厚度。此菜單可以達到這些層數參數。

 

Initial Rate初始蒸發速率。

Final Thickness:膜層所需要的***終厚度。當厚度達到時膜層會停止。

Time Setpoint:設定一個定時,當鍍膜開始后何時時間設定繼電器被激活。

Thickness Limit在厚度限制繼電器被激活時国民彩票app官网,設定一個***終厚度。

Start Mode:當一層膜完成国民彩票app官网国民彩票app官网,是否自動開始下一層。如果選擇手動,上一層完成時功率變為0,等待用戶去按開始鍵(START)国民彩票app官网。

Output:為所選膜層選擇輸出口。

Slew Rate:一個輸出口每秒所允許的******功率改變国民彩票app官网。如果功率或功率曲線超過這個值,一個錯誤將發生。

Sensor1-4:允許為每個膜料選擇相應晶振探頭国民彩票app官网。如果多個探頭選擇一個膜料,則選擇平均讀數。如果多個探頭選擇一個膜料,其中一個失敗,這個則被計算排出。

探頭除了On/Off的選項,在系統設置(System Parameter)I/O設置菜單中,也可以為膜料分配繼電器或輸入。

如果雙探頭檔板繼電器在I/O設定中被分配到探頭1和探頭3,那么1/3探頭變為默認探頭,2/4探頭變為備用探頭。如果默認探頭失敗,則自動轉到備用探頭上,一個膜系使用備用探頭真到使用結束或停止,重新運營一個新膜系時將繼續重新使用默認探頭。

如果在I/0設置中多探頭移動繼電器被分配到一個探頭,一個晶振轉換選擇將出現在此菜單中国民彩票app官网。如果一個探頭失效,則自動轉到另一個探頭,直到發現好的探頭為止或所有探頭均失效。

如果在I/O設置中設定Mulit Crystal Ready輸入国民彩票app官网,你可以為每層膜選擇一個多探內的一個,這種情況僅在每一種晶振片上鍍一種材料時方有效。這種情況下,如果多探頭中的一個失效国民彩票app官网,那么鍍膜會停止或按繼定的功率繼續鍍膜。

Ramp1:在鍍一層膜時,有時需要改變沉積速率。例如,你可能在開始時慢慢鍍,當開始厚度達到時開始提高速率,若設置為enabled,則下列參數被顯示:

Start Thickness:新速率開始時需要的厚度。

Ramp Time從開始速率到新速率所允許的時間国民彩票app官网。

New RateRampl結束時要達到的新速率。

Ramp1每一層可以有兩個RAMP。RAMP2的開始厚度應大于RAMP1的開始厚度国民彩票app官网。

3.7 /貼、插入菜單

此菜單用于建立編輯膜系層數的順序。

下面顯示的膜系含四層。******個三層將要與第1層共沉積。第四層將在前三層共沉積完后開始鍍。

 

如果想移動(或復制)一層,則選中這層国民彩票app官网,然后按CUT/PASTE。其功能與電腦剪切/貼貼差不多国民彩票app官网国民彩票app官网。

CUT-剪切   PASTE-復制

 

   一個必須記住的是:膜層總是貼在選中的膜層位置,被選中的膜層要往下移一位。

 

3.8膜料菜單

每個膜料有自己的性質,來決定如何被蒸發。膜料菜單允許你對每一膜料進行參數設置,這些參數在任何膜系中都會被調用国民彩票app官网国民彩票app官网。

 

在膜料菜單中選擇EDIT鍵国民彩票app官网,對膜料參數進行編輯,按FILM CONDS,Deposit controls可顯示更多的參數国民彩票app官网。

 

Film Conds顯示膜料預熔條件,它包含膜料預熔国民彩票app官网、蒸發、蒸發后需要功率等條件。

Deposit Controls包含控制檔板遲滯和錯誤發生時設備的反應時間。

上述參數說明如下:

P Term用于設定控制循環增益。高增益產生更高的反饋循環(但可能不穩定)国民彩票app官网??梢栽囈恢?/span>50国民彩票app官网,然后漸漸降低/增加來調試。

I Term:控制循環反饋的時間常數。一個小的值,在0.5-1會使大多循環平穩国民彩票app官网。

D Term:不同的值會使循環對變化作出快速反應。用0或很小的值能避免振蕩。

Film Tooling:對選擇的材料進行的探頭敏感度進行補償?国民彩票app官网?梢栽谙到y設置中使用Xtal Tooling分別對每個探頭進行設定。

Pocket指示使用哪個坩鍋(1-8)。為了使這個參數有效,必須在系統I/O設定中分配坩鍋繼電器(PocketRelay)和坩鍋準備輸入(Pocket Ready)国民彩票app官网。

Crystal Quality前面滾動的16個讀數平均值,速率偏差******值。每次速率偏差超過選擇的%,一個值要上升。每次偏差在一個值內,這個值要下降(直到0為止)。如果這個值在一個膜系中到100,膜系停止国民彩票app官网。晶振質量讀數從0-9為:

0

1

2

3

4

Disabled

30%

25%

20%

15%

5

6

7

8

9

12.5%

10%

7.5%

5%

2.5%

這個參數對PID循環調節非常敏感。******將此值設為Disabled国民彩票app官网,除非你對膜系和PID值設定非常有信心。

Crystal Stability:當膜料鍍到晶片上国民彩票app官网,頻率通常會下降。然而国民彩票app官网,電弧,模式,外部應力會導致晶振頻率上升。如果這些積極的頻率變化值積累到一定值(或一個消極的巨大變化)在一個膜系中超過一個檻,晶振片失敗要被指示。

 

 

 

 

0

Disabled

5

200Hz

1

5000Hz1250HZ單獨變動)

6

200Hz(100Hz 單獨變動)

2

1000Hz

7

100Hz

3

500Hz

8

100Hz50Hz單獨變動)

4

400Hz

9

25Hz

Xtal Fail Mode:當***后一個探頭被分配到一個膜料失敗后,選擇Haut停止。當Timed Power被選擇,設備用***后的有效速率国民彩票app官网国民彩票app官网、厚度和功率讀數來計算到達***后厚度的時間。功率在***后有效讀數中不變国民彩票app官网,沉積按計算的時間繼續。因為沒有探頭讀數国民彩票app官网,這只是一個大約估計值。膜系越穩定,估計越準確。

Materials:選擇一個材料分配到這個膜料。膜料在變,Z值和密度都要變。

Z值:晶振片頻率變化對材料的影響。

密度:對沉積計算有重大影響国民彩票app官网。

 

Ramp1Ramp Power設定預熔結束時的功率国民彩票app官网。Ramp time是設定到達預熔功率的需要時間国民彩票app官网。

Ramp2:同上。

Feed:這個過程保持穩定的輸出功率,feed time是指自動裝料的時間。

Idle:輸出功率為0。

 

Shuttle Delay:經常在基體檔板打開之前得到鍍膜良好控制国民彩票app官网。Enabling檔板遲滯是在檔板打開時系統得到一個準確值。如果準確值在遲滯時間內不能達到準確值国民彩票app官网,程序停止。否則国民彩票app官网,檔板打開,當準確值持續5秒鐘時,鍍膜開始。在檔板遲滯期內厚度讀數將自動復0。

Capture:指檔板遲滯結束時速率控制準確度%国民彩票app官网。

Control Error如果控制循環不能堅持需要的沉積速率,由于蒸發源材料少国民彩票app官网国民彩票app官网,超出速率預熔值或設備出錯,一個錯誤發生。錯誤情況可以被忽視国民彩票app官网,程序停止(輸出功率為0),或者輸出功率保持一個穩定的值。如果HOLD被選擇,PID控制被放棄国民彩票app官网,但整個過程還繼續被監控到厚度設定置。

Rate Sample:速率取樣可以擴展晶振片壽命。當速率取樣時国民彩票app官网,沉積速率被取樣一定時間,然后檔板關閉。功率將保持在取樣期間的***后功率。

*Continue表示不取樣国民彩票app官网,檔板在鍍膜時保持打開;

*Time based表示時間基礎上取樣,使檔板打開一些時間国民彩票app官网,然后關閉一些時間;

*Accuracy表示準確性基礎上取樣国民彩票app官网,檔板在保持速率一定均確性基礎上打開/關閉。

3.9系統參數菜單

系統參數菜單包括影響SQC-300基本操作的參數。與鍍膜機真空系統的物理設置有直接的關系。

 

參數解釋如下:

Period設立測試時間在0.11秒中。更長測試時間可以得到更高的準確性,特別在低速率和低密度材料應用中。

Period()

頻率精度(Hz)

0.1

0.3

0.25

0.12

0.5

0.06

0.75

0.04

1

0.03

Simulate Mode:模擬模式:正常模式使用晶體作為輸入,以便于PID計算和蒸發源輸出控制。模擬模式是基于晶片頻率來模擬運行狀態的国民彩票app官网。

System Tooling調節探頭沉積速率與測試值的差異国民彩票app官网。

Xtal Tooling(1-2):調節指定探頭的tooling值。

Scale1-2產生100%輸出功率需要的輸入電壓国民彩票app官网。正或負是可能的国民彩票app官网。

Mulit Xtal Count1-2規定多探頭情況下可得到的探頭量国民彩票app官网。對于6探頭国民彩票app官网,值為6国民彩票app官网。對于標準的單探頭或雙探頭,值可設為0。

***小/******頻率:通常設定******頻率為新晶振片頻率,典型是6Mhz。如果實際頻率超出這個范圍SQC-122會提示出錯。

Pocket Relay:選擇Single”,將一個繼電器分配到每一個蒸發源坩鍋中。選擇“Multi”允許繼電器代表選擇坩鍋的BCD值。

例如国民彩票app官网,一個膜料的坩鍋參數設為3。在I/O設置中国民彩票app官网,設繼電器1/2/3為坩鍋1/2/3国民彩票app官网。如果參數設為Single,繼電器3在鍍膜開始時關閉国民彩票app官网。如果這個參數設為多,繼電器1、2將關閉(代表二進制三)。

Pocket Wait這個參數有兩個功能国民彩票app官网,根據I/O設置中Pocket Ready信號的設定。如果沒有為輸出設定PocketReady輸入,這個時間就在等待坩鍋轉位完成的時間国民彩票app官网国民彩票app官网。等待時間后,鍍膜開始国民彩票app官网。如果Pocket Ready輸入被編程作為輸出,這就是時間值。如果這時間準備內沒有接受到坩鍋準備信號国民彩票app官网,則錯誤發生。

Dev Grap Limit:設定Y軸速率偏差曲線的極值。

Rate Alarm low設定小于設定的速率偏差%值將引起聲音警告。

Rate Alarm High同上,高于速率有警告。

Password Enable:如果設為Enable,快速開始,膜料和系統菜單需要密碼。膜系菜單被用來選擇膜系,但如改變膜系国民彩票app官网,則需要鍵入密碼国民彩票app官网。

System Time:系統時間。用于設置本地時間国民彩票app官网。

System Date用于設立當時日期。

I/O設置菜單軟鍵允許匹配8個輸入或8個輸出(如果加擴展卡,******可增加到16個輸入/輸出)。一系列“事件”可以被分配到輸入和繼電器中。選擇需要設定的輸入或輸出国民彩票app官网,然后旋轉按鈕分配相關的功能国民彩票app官网,具體如下:

 

 

輸入

解釋

Start Process

開始膜層1

Abort Process

停止膜層。僅可在膜層1上重新開始

Start Layer

開始選中的膜層

Stop Layer

停止選中的膜層

Start Next Layer

開始下一層

Force Final Thickness

終止鍍膜

Start Process

開始選擇的膜系

Soak Hold

預熔保持

Zero Thickness

將厚度復0

Zero Time

將時間復0

Output Pocket Ready

輸出中蒸發源坩鍋準備完畢

Mulit Xtal Ready

多晶振探頭中選定的探頭準備完畢

None

 

 

繼電器

 

Source 1-4 Shutter

蒸發源檔板打開

Sensor 1-4 Shutter

探頭檔板打開

Sensor 1-4 Fail

被分配到這層的探頭失敗国民彩票app官网。

All Crystal Good

所有被分配到這膜層的探頭OK

All Crystal Fail

所有被分配到這膜層的探頭失敗

Process Hold

膜系暫停止(等重新手動開始)

Deposit Hold

膜系在沉積狀態

Precond Phase

膜料在預熔狀態

SoakHold Phase

膜料在蒸發,保持狀態

Process Active

鍍膜中

Manual Mode

手動模式

Max Power

******功率

Process Stopped

停止鍍膜

Time Setpoint

膜系在蒸發過程,指示的時間

Thickness Setpoint

厚度設定點到達国民彩票app官网。重新開始下一層

Final Thickness

***終厚度到達

Dual Crystal Shutter

主探頭失敗,備用探頭開始

Multi Xtal Move 1-4

1秒脈動国民彩票app官网,移到多晶體探頭的下一個位置

Output Pocket 1-8

坩鍋#(單獨模式)或BCD 比特(多模式)

None

4.0介紹

這節包括維修国民彩票app官网国民彩票app官网、清洗国民彩票app官网、軟件升級和附件裝配信息。

警告:在SQM-300的部件均屬專用部件国民彩票app官网,請不要自行替換。如果需要維修或修理,請聯系:

盱眙新遠光學科技有限公司

江蘇省盱眙縣馬壩鎮文明東路

Tel:0517-88911440

4.1 用濕布或沾少許洗滌劑清洗外表面

4.2 軟件升級

 

SQC-300的版本(flash軟件)可以通過RS232接口將軟件升級,軟件升級程序Sigmaflash.exe已隨機附帶(CD)。***新的軟件(SQC300_VERSION.BIN)可在www.sig-inst.com網址上下載国民彩票app官网,軟件如果探測到網站上高級別的国民彩票app官网,會自動運行。

具體升級程序如下:

1. 從網站上下載BIN文件到你的計算機上;

2. 開始SIGMAFLASH程序;

3. 點擊文件,裝載BIN程序到你計算機中;

4. 用附帶的電纜聯結SQC-300到你的計算機;

5. 確保SQC-300已關閉;

6. 打開程序国民彩票app官网,打開SQC-300;

7. SIGAMAFLASH自動發現SQC-300并更新;

8. 當升級完畢,SQC-300將重新開始。確保SQC-300啟動時顯示新版本。

4.3選配卡安裝

選配卡提供額外的兩個探頭輸入、兩個控制輸出和8個數字I/O信號到SQC-300。請按如下指示安裝:

1) SQC-300從主電源上斷下国民彩票app官网;

2) 移動固定上保護蓋的8個鏍絲,移動保護蓋;

3) 移動背板選項保護板的3個鏍絲国民彩票app官网;

4) 將主PCB后面的兩個5/8“鏍絲擰開;

5) 將短的帶狀電纜插入主PCB上的接口;

6) 將選項卡PCB滑入背板;

7) 用兩個2“鏍絲和墊片將選項卡PCB與主PCB聯結;

8) 還原上述操作国民彩票app官网;

9) 打開SQC-300,發現可顯示四個通道国民彩票app官网。

4.4

 

 

5.0

附錄:A、材料參數表

材料

密度

Z

材料

密度

Z

AL

2.73

1.08

SiO2

2.2

1.07

Al2O3

3.97

1

SiO

2.13

0.87

CeO2

7.13

1

Ag

10.5

0.529

Cr

7.2

0.305

Ta2O5

8.2

0.3

HfO2

9.63

1

TiO2

4.9

1

ITO

5.76

0.769

Ti3O5

4.26

0.4

MgF2

3

1

Y2O3

5.01

1

Ni

8.91

0.331

ZnS

4.09

0.775

Si

2.32

0.712

ZrO2

5.6

1.001

 

B、SQC-300規格

探頭數:2個(備選2

頻率范圍:4.0-6.0Mhz

頻率均確性:0.001%

頻率精度:0.03Hz/2讀數/

速率均確性:0.5%典型

速率精度:0.01/s

厚度均確性:0.5%典型

厚度精度:1

測試時間:0.11

蒸發源

蒸發源個數:2個(備選2

 

控制電壓:0-10V in 2kQ

精度:15比特

數字I/O

數字輸入        8(備選8

輸入頻率        5VDC,非隔斷

繼電器輸出      8(備選8

功能            用戶自選(第三章)

繼電器頻率      30VRMS30VDC,2A******

總規格

電源            100-120/200-240V10%正負公差) 50/60Hz 自動檢測

功率            25W

外形         132.8X213X254mm(1.8kg)/310

顯示

曲線            速率,偏差国民彩票app官网,功率

讀數            厚度,速率,功率

 

膜系

膜系           25

膜料           25

膜層(總共膜系)400

膜厚參數

初始讀數     0.0-999.9

***終厚度     0.0-999.9

時間設定點   0-30000

厚度限制     0-999.9

開始模式     自動/模似

輸出選擇     1,2国民彩票app官网,3国民彩票app官网国民彩票app官网,4

******功率     0-100%

速率偏差     0-100%

探頭選擇(1-4)   開/關預熔1/2等         0-30000

蒸發1/2等         0-100%

檔板遲滯時間      0-200

檔板遲滯錯誤      0-30%

控制錯誤          忽視/停止/保持

探制錯誤設定      0-30%

速率取樣         持續/時間/均確性

取樣時間         10-999

保持時間         10-999

預熔              2

預熔開始          0-999.9%

預熔時間          0-1000

新速率            0-999.9

膜料參數

材料             庫存100

密度             0.4-99.99

z值              0.1-9.9

P值              1-999

I值              0-99.9

D值             0-99.9

TOOLING        10-400

坩鍋             1-8

晶振片質量       不工作到30%

晶振片穩定性     不工作到5mhz.

晶振片失敗模式   停止或Timed功率

 

C国民彩票app官网、 I/O聯結

25針式聯結器,在SQC-300的后面,提供輸入輸出聯結。參照3.6見繼電器和輸入功能分配。

 

                            

      

 

 

 

 

 

 

  D国民彩票app官网、手動遠程功能控制(備選)

 

備注說明:

盱眙新遠光學出售的Sigma膜厚儀均在一年之內包修(非人為損失損壞),但所發生運費均由購方承擔。

 

請聯系:陳堅 15851704311    0517-88911440

傳真:  0517-88419808

網址:  www.MBthinfilm.com

E-mailchenjian0756@163.com

 
在線咨詢
 
QQ  銷售咨詢
QQ  技術咨詢
QQ  技術咨詢
国民彩票app官网